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飛秒激光切割機

飛秒激光激光加工系統

超(chao)快飛秒激(ji)光切(qie)割(ge)(ge)機適用于超(chao)薄金(jin)屬銅箔、鋁箔、不(bu)銹鋼(gang)箔、鎳(nie)合金(jin)箔等材料(liao)微細精(jing)密加工,切(qie)割(ge)(ge)無變(bian)形、無黑邊、無毛刺、精(jing)度高;可(ke)針對(dui)柔(rou)性(xing)PI、PET扥材料(liao)切(qie)割(ge)(ge)、刻蝕。可(ke)針對(dui)柔(rou)性(xing)PET、PI材料(liao)或玻璃(li)、硅(gui)片基材上的鍍層刻蝕、劃線、切(qie)割(ge)(ge),不(bu)傷及基材。也可(ke)直接對(dui)玻璃(li)、硅(gui)片、不(bu)銹鋼(gang)等材料(liao)做激(ji)光劃線、刻槽、刻蝕等處理,最小線寬小于10微米。

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該系統(tong)配(pei)備超(chao)快激(ji)光,可實(shi)現(xian)高(gao)分子材料表面可定制(zhi)化深度、可選擇材料種類的剝離、刻蝕、切割等功能。


超快飛秒(miao)激(ji)光切(qie)(qie)割(ge)機適用于(yu)超薄金屬銅箔(bo)、鋁箔(bo)、不銹鋼箔(bo)、鎳合(he)金箔(bo)等材料(liao)微(wei)細精密加(jia)工,切(qie)(qie)割(ge)無變形、無黑邊、無毛刺、精度高;可(ke)針對柔性PIPET等材料切割、刻蝕。可針對柔性(xing)PETPI材(cai)料(liao)(liao)或(huo)玻(bo)璃(li)、硅片(pian)基材(cai)上(shang)的鍍層刻蝕、劃(hua)線、切割,不(bu)傷(shang)及基材(cai)。也可直接對(dui)玻(bo)璃(li)、硅片(pian)、不(bu)銹鋼等(deng)材(cai)料(liao)(liao)做激(ji)光劃(hua)線、刻槽、刻蝕等(deng)處理,最小(xiao)線寬小(xiao)于10微米。

 

產品特(te)點

1.采用(yong)皮秒或者飛秒激光器(qi),超短(duan)脈沖加工幾乎無熱傳導,適用(yong)于(yu)任意有機&無機材料的高(gao)速(su)切割與鉆(zhan)孔,最小3μm的崩邊和熱(re)影響區(qu)。

2.CCD視覺預掃(sao)描(miao)&自動(dong)抓靶定位、最大加工范圍500×400mm XY平臺(tai)拼接(jie)精度≤±3μm

3.光束質量優異、長期工作穩(wen)定性(xing)好,可忽略的(de)熱影響(xiang)。

4. 更高(gao)的單(dan)脈(mo)沖能量,更高(gao)的加(jia)工(gong)精度,可(ke)對(dui)幾(ji)乎任何固體(ti)材料(liao)實現(xian)精細加(jia)工(gong)

5.極好的加工柔韌性,可進行(xing)任(ren)意形狀細微切割

6. 自主開(kai)發的(de)軟(ruan)件控(kong)制(zhi)系統,可按客戶要求進(jin)行(xing)各(ge)項功能的(de)定(ding)制(zhi)與升級

 

應用材料及領(ling)域

材(cai)(cai)料(liao)(liao):玻璃(li)、陶(tao)瓷(ci)、樹脂、石(shi)材(cai)(cai)、藍寶石(shi)、硅、銅(tong)、不銹鋼(gang)以及各種合金材(cai)(cai)料(liao)(liao)和薄膜(mo)材(cai)(cai)料(liao)(liao)、高分子(zi)材(cai)(cai)料(liao)(liao)、復合材(cai)(cai)料(liao)(liao)等。

應用領(ling)域:高校研究(jiu)領(ling)域、半(ban)導體(ti)電子、航空(kong)航天(tian)、汽車、生(sheng)物(wu)醫療等。


技術參數

項目(mu)

參(can)數(shu)

激光器(qi)類(lei)型

波(bo)長:1064/532/355nm飛秒、皮(pi)秒可選

可加工(gong)材料

銀漿(jiang)、ITOCu、玻璃、藍寶石、陶瓷、超薄金屬片、  高(gao)分子復合材料、   硅(gui)片

設(she)備有效加(jia)工范圍

500*400mm(可定制選擇)

聚焦(jiao)透鏡

40*40mm/15*15mm(可定制)

聚焦光斑

5μm(視材料而定)

最小切線寬度

10μm(視材(cai)料而定)

加工產品厚(hou)度

1.5mm

振鏡掃(sao)描速度

3000mm/s

平臺(tai)移動速(su)度

500mm/s

工作臺定位精度

±2μm

工作臺(tai)重復精度

±1μm

可處理文件格式(shi)

標準Gerber文件,DXF文件,PLT文件等


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