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ITO是一種(zhong)N型的氧化物(wu)半導(dao)體，中文名為氧化銦錫，因為其導(dao)電性、透光率較好常用于玻璃或柔性材PET基材上的導電氧化物，用于觸(chu)摸屏、光伏(fu)、冷(leng)光片、傳感器、電致色玻璃(li)、發(fa)光玻璃(li)等行業。通常情況下利(li)用平面(mian)磁(ci)控技術在玻璃(li)或(huo)柔性PET等材料(liao)上(shang)濺射ITO材料，并通(tong)過(guo)高溫退火(huo)處理(li)得到ITO鍍(du)膜玻璃(li)或薄膜材料。

ITO導(dao)電(dian)玻璃

而(er)ITO鍍(du)膜玻璃或薄膜原材(cai)料由于是(shi)一整塊都(dou)是(shi)ITO材(cai)料，應(ying)用到觸控(kong)面(mian)(mian)板、顯示(shi)面(mian)(mian)板、太(tai)陽(yang)能電池、微電子(zi)、光電子(zi)等領域(yu)中(zhong)就需要對(dui)(dui)其進行加工，形(xing)成特定(ding)線路(lu)圖(tu)，而對(dui)(dui)ITO材(cai)料的初加工工藝成了關鍵(jian)環節(jie)。

ITO鍍膜玻(bo)璃或薄膜的(de)材料線路成(cheng)型加工主(zhu)要有黃光(guang)(guang)曝光(guang)(guang)、化學蝕刻、等離子蝕刻以(yi)及激光(guang)(guang)刻蝕設備。

黃(huang)光曝光加工效果好(hao)，速度快，缺點是(shi)需要(yao)用到掩膜(mo)版，ITO線(xian)路(lu)要求有的多達數千種，每一種都需(xu)要掩膜版，這(zhe)對設計(ji)加工的成本太高，就是存(cun)儲也(ye)會浪(lang)費大量的空間，因此黃光(guang)曝(pu)光(guang)工藝目(mu)前只保(bao)留在特殊要求領域(yu)中(zhong)使用。

黃光曝光設備（圖片源自網(wang)絡）

化(hua)(hua)學蝕刻加(jia)工(gong)速(su)度高，效果好，缺點(dian)是(shi)大量的(de)化(hua)(hua)學試劑對人(ren)體(ti)和環境(jing)會(hui)(hui)造(zao)成污染，特別是(shi)在當(dang)今社(she)會(hui)(hui)中人(ren)與自然的(de)協調愈加(jia)重要，環境(jing)問題已(yi)加(jia)以限制，并控制在一定范圍內。當(dang)然化(hua)(hua)學蝕刻也有技術工(gong)藝缺點(dian)隨著下游產品(pin)對ITO鍍(du)膜材(cai)料的要求(qiu)越(yue)來越(yue)高，超細(xi)線寬的ITO材料(liao)化學(xue)蝕刻工藝已感到(dao)力不從心(xin)。

化學刻蝕設備（圖(tu)片源自網絡）

等離子蝕刻效(xiao)果和速度都非常理想(xiang)，不(bu)過(guo)工(gong)藝(yi)流程(cheng)較為復雜(za)，灑家也不(bu)太(tai)明白具體的工(gong)藝(yi)流程(cheng)，想(xiang)想(xiang)晶圓的制(zhi)作流程(cheng)，想(xiang)來大(da)家也知(zhi)道了(le)其復雜(za)程(cheng)度。不(bu)過(guo)相比(bi)較于ITO鍍膜材料(liao)的加工，等離子蝕刻設備還(huan)是(shi)小兒科了，很容易實現(xian)，也有簡易版的適用(yong)于ITO材料，相比(bi)較而言等(deng)離子刻蝕的成本相對較高。

等離(li)子(zi)刻(ke)蝕設(she)備（圖(tu)片(pian)源自網(wang)絡）

激光刻蝕設(she)備(bei)是目前的主流ITO刻蝕工藝，適用于柔性pet以(yi)及玻璃上的導電ITO激光刻蝕(shi)，優點(dian)是工藝流(liu)程簡單，導入CAD圖紙即(ji)可相機自動(dong)定位加(jia)工(gong)(gong)，一(yi)次性成(cheng)型(xing)，對環境(jing)無(wu)污染，無(wu)掩膜版，只用(yong)消耗電力，并且(qie)易(yi)于自動(dong)化，加(jia)工(gong)(gong)尺寸可超(chao)過3m以上，優勢顯而易見(jian)。目前(qian)ITO材料刻蝕(shi)的(de)線寬(kuan)要(yao)求越來越高，傳統的(de)納秒(miao)紅外(wai)激(ji)光刻蝕(shi)機的(de)最小線寬(kuan)只能做(zuo)到20微(wei)米，而隨著激光技術的進步，ITO材(cai)料刻蝕最小線寬可做到10微(wei)米以下，可保持與ITO材料應用(yong)行業需(xu)求的發展同(tong)步。

ITO激光刻蝕設備

ITO鍍膜玻璃、薄膜刻蝕工(gong)藝是太陽能電池、觸摸屏、光電子等行業領(ling)域中重要(yao)工(gong)藝環(huan)節，要(yao)保(bao)證(zheng)生產效率(lv)、生產成本、環(huan)境保(bao)護，ITO激光刻(ke)蝕機必不(bu)可少(shao)，武漢元祿光(guang)電專業生產激光(guang)刻蝕設備，擁有豐富的(de)經驗(yan)、過硬的(de)技術，歡迎大(da)家前來(lai)洽(qia)談了解。

推薦(jian)設備：導電玻璃激光刻蝕(shi)機