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激光刻蝕FTO導電玻璃和薄膜刻不斷什么原因？

發(fa)布時間：2019-04-04 點擊量：4610

胡先生 2019-04-04

采用1064納米(mi)激(ji)(ji)光激(ji)(ji)光刻(ke)蝕機對FTO、ITO導電膜進行線路(lu)蝕刻(ke)，發現(xian)(xian)了FTO、ITO存在(zai)蝕刻(ke)不(bu)斷的現(xian)(xian)象(xiang)，出現(xian)(xian)點狀現(xian)(xian)象(xiang)，請問(wen)如何處理？

管理員回復:

通常情況下激光刻蝕FTO或ITO刻(ke)不斷有三點愿意需(xu)要(yao)去做調整：

1.檢查(cha)薄膜或玻璃(li)材(cai)料是否平整(zheng)，如果檢測平整(zheng)性高，需要(yao)重新校正平臺、振(zhen)鏡的(de)精度(du)；

2.檢(jian)查激光器(qi)的頻率、脈寬設置，可通過(guo)加(jia)大頻率、降低脈寬來調整；

3.檢查振鏡掃(sao)描(miao)速(su)度設置，是(shi)否開的過快(kuai)，可降低振鏡掃(sao)描(miao)速(su)度配合(he)激光器的頻率、脈(mo)寬設置問題(ti)來做(zuo)。

另外還(huan)可以通(tong)過掃描多次的方式來(lai)檢測是(shi)(shi)否同一個位(wei)置可不短呈現點狀，還(huan)是(shi)(shi)其他(ta)位(wei)置也有這(zhe)種(zhong)情況，可以判斷(duan)出是(shi)(shi)否不平整或振鏡有問題(ti)(ti)，還(huan)可以設置出光延遲(chi)等等問題(ti)(ti)去解決，如果(guo)機(ji)器(qi)時間過長，還(huan)要(yao)考慮機(ji)器(qi)功率衰減(jian)的問題(ti)(ti)，可以通(tong)過加大功率來(lai)做(zuo)測試。

管理員 Asked question 2019-05-22

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