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發布時(shi)間:2019-06-19 點(dian)擊(ji)量:4368
飛秒激(ji)光刻蝕機原理是什么?
管理員(yuan)回(hui)復:飛秒激光刻蝕機是指采(cai)用(yong)脈(mo)沖寬度為飛(fei)秒級別的超短脈(mo)沖激光刻蝕(shi)設備,可根(gen)據材料(liao)需求采(cai)用(yong)1030/515/343nm等不(bu)同波段的飛(fei)秒激光刻蝕(shi)設備。
飛秒激光刻(ke)蝕(shi)設備超(chao)短脈沖與材(cai)(cai)料(liao)(liao)(liao)作用時間超(chao)短,小于分子擴散運動的作用時間,因此對材(cai)(cai)料(liao)(liao)(liao)的熱影響幾乎可忽略(lve)不計(ji),常用于微細(xi)精密加工領域。特別適合用于多層材(cai)(cai)料(liao)(liao)(liao)激光刻(ke)蝕(shi),如(ru)太陽能電池(chi)、電致(zhi)色玻璃等(deng)等(deng)。
飛(fei)(fei)秒激(ji)光(guang)刻蝕(shi)機(ji)的原理與納秒激(ji)光(guang)刻蝕(shi)機(ji)原理相同,均(jun)是采用(yong)高(gao)能(neng)量的光(guang)束照射材(cai)料表面,使其汽化從而(er)形成線路剝離或切割,區別在于飛(fei)(fei)秒激(ji)光(guang)刻蝕(shi)機(ji)的脈沖寬(kuan)度窄作用(yong)時間短,能(neng)量高(gao),頻率高(gao),對材(cai)料的熱(re)影響(xiang)區域小,對材(cai)料本身的損傷小,特(te)別適合于微加工刻蝕(shi)。
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管(guan)理員(yuan) Asked question 2019-06-19
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