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小型薄膜激光刻蝕機

小型薄膜激光刻蝕設備

 適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。（1）設備型號：YLET1010MG （2）本設備系統由三大部分組成：主機、冷水機、抽塵機。 （3）適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。 （4）加工幅面為：100*100mm。

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一、系統介紹激光刻蝕機

（1）設備型號：YLET1010MG

（2）本設備系統由三大部分組成：主機、冷水機、抽塵機。

（3）適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。

（4）加工幅面為：100*100mm。


        二、主要技術參數

序號

項目名稱

技術參數

1

設備型號

YLET1010MG

2

激光器

納秒綠光激光器

3

波長

532nm

4

功率

5W

5

激光器頻率調節范圍

30K-100KHZ

6

加工幅面

100*100mm

7

聚焦光斑

≥50um（100mm幅面）

8

CCD抓靶精度

±10um

9

X/Y運動模組重復定位精度

±10um

10

刻蝕最小線寬

≥50um（100mm幅面）

11

最小線間隔距

≥50um（100mm幅面）

12

刻蝕速度

<3000mm/S

13

主機設備尺寸

1050*700*1660mm(L*W*H)

14

冷水機尺寸

580*290*520mm(L*W*H)

15

抽塵機尺寸

600*500*800mm(L*W*H)

16

主機設備重量

300KG

17

主機額定功率

3000W

18

可處理的文件格式

標準CAD版本DXF文件


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